【英文缩写】 PECVD
【词性类别】 电子电工,化学化工
【英文全称】 plasma enhanced chemical vapor deposition
【中文解释】 等离子增强的化学蒸发沉积
【缩写简介】 一种常用的表面修饰方法。广泛应用于微电子加工的集成电路制造工艺中。
